臭氧是一種草腥味的淡藍色氣體，具有強烈的氧化作用。以氧原子的氧化作用破壞微生物膜的結構，以實現(xiàn)殺菌作用。
臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學氧化反應。臭氧滅菌有以下3種形式:
1.臭氧能氧化分解細菌內(nèi)部降解葡萄糖所需的酶，致使TCA循環(huán)無法進行，從而導致細胞生命活動所需的ATP無法供應，使細菌滅活死亡。
2.直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。
3.透過細胞膜組織，侵入細胞內(nèi)，作用于外膜的脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細菌發(fā)生通透性畸變而溶解死亡。
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